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合肥無塵車間

合肥半導體制造車間裝修的核心要求與設計原則

來源:www.helichuzu.com 作者:空氣好凈化
發布時間:2025-03-05 09:07:49點擊:

 半導體制造車間的裝修是確保芯片生產環境潔凈、無污染的關鍵環節。半導體制造對潔凈度、溫濕度和防靜電等要求極高,因此車間的裝修設計必須滿足這些特殊需求。

1. 潔凈度等級要求

半導體制造車間的潔凈度等級通常為ISO 4(Class 10)或更高,這意味著每立方英尺空氣中,直徑大于0.1微米的顆粒數不超過10個。為實現這一目標,車間的裝修設計必須從材料選擇、空氣過濾、氣流組織等方面入手。

2. 功能分區設計

半導體制造車間需根據生產流程進行功能分區,通常包括原料存儲區、光刻區、刻蝕區、清洗區和包裝區。每個區域需明確界限,避免交叉污染。人流、物流和氣流需嚴格分離,設置緩沖間、傳遞窗和風淋室。

3. 材料選擇

車間的墻面、天花板和地面需使用易清潔、耐腐蝕的材料,如彩鋼板、不銹鋼板和環氧地坪。接縫處需密封處理,避免積塵。門窗需采用氣密性好的材質,確保車間的密閉性。

4. 空調與通風系統

半導體制造車間需配置高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA),確保空氣潔凈度。送風和排風系統需獨立設計,避免交叉污染。車間需保持正壓,防止外部污染空氣進入。溫濕度需根據生產要求精確控制,通常溫度控制在22±1℃,濕度控制在45±5%。

5. 安全與環保

車間需配置防靜電設施,如防靜電地板和離子風機,防止靜電對芯片的損害。此外,車間需安裝緊急噴淋裝置和洗眼器,確保突發情況下的應急處理。

通過以上設計原則,半導體制造車間能夠滿足高潔凈度和生產要求,為芯片制造提供可靠保障。

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