一、精密控制系統(tǒng)架構(gòu)

 

　　多級調(diào)節(jié)系統(tǒng)

 

　　采用"冷水機(jī)組+精密空調(diào)+末端調(diào)節(jié)"的三級控制模式。某晶圓廠通過18臺400RT磁懸浮冷水機(jī)組配合136臺精密空調(diào)，實(shí)現(xiàn)20000㎡車間溫度控制精度±0.1℃。

 

　　分布式傳感網(wǎng)絡(luò)

 

　　布置每50㎡一個(gè)的溫濕度采集點(diǎn)，采用PT100級鉑電阻溫度傳感器（精度±0.05℃）和電容式濕度傳感器（±1%RH），數(shù)據(jù)刷新頻率達(dá)10Hz。

　　二、關(guān)鍵技術(shù)突破

 

　　自適應(yīng)控制算法

 

　　應(yīng)用模糊PID控制技術(shù)，響應(yīng)時(shí)間縮短至傳統(tǒng)系統(tǒng)的1/3。某面板企業(yè)實(shí)測顯示，在設(shè)備突發(fā)散熱工況下，溫度恢復(fù)時(shí)間從8分鐘降至150秒。

 

　　氣流組織優(yōu)化

 

　　采用CFD仿真設(shè)計(jì)三維送風(fēng)系統(tǒng)，風(fēng)速均勻性控制在±10%以內(nèi)。配合地板回風(fēng)設(shè)計(jì)，使工作區(qū)垂直溫差≤0.3℃/m。

 

　　三、節(jié)能技術(shù)應(yīng)用

 

　　熱回收系統(tǒng)

 

　　通過板式熱交換器回收排風(fēng)能量，某項(xiàng)目實(shí)測節(jié)能率達(dá)32%，年節(jié)省電費(fèi)460萬元。

 

　　變頻群控技術(shù)

 

　　空調(diào)風(fēng)機(jī)采用EC電機(jī)，根據(jù)負(fù)荷變化自動(dòng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，使系統(tǒng)全年運(yùn)行在最佳工況點(diǎn)，能耗降低28%。

　　四、特殊工況應(yīng)對

 

　　設(shè)備散熱補(bǔ)償

 

　　對刻蝕機(jī)等大熱源設(shè)備配置專用冷卻單元，通過實(shí)時(shí)熱負(fù)荷監(jiān)測動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)送風(fēng)參數(shù)。

 

　　新風(fēng)處理系統(tǒng)

 

　　采用三級過濾（G4+F8+H13）結(jié)合轉(zhuǎn)輪除濕，確保新風(fēng)露點(diǎn)溫度≤-40℃的同時(shí)，顆粒物控制達(dá)到ISO5級標(biāo)準(zhǔn)。

 

　　當(dāng)前最先進(jìn)的半導(dǎo)體工廠已實(shí)現(xiàn)0.05℃級別的溫度控制，這要求空調(diào)系統(tǒng)具備每秒200次的計(jì)算調(diào)節(jié)能力。隨著5G工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)的應(yīng)用，基于數(shù)字孿生的預(yù)測性溫控系統(tǒng)正在興起，某試點(diǎn)項(xiàng)目顯示其可將環(huán)境異常預(yù)警提前2小時(shí)，不良品率再降0.8個(gè)百分點(diǎn)。未來，量子傳感技術(shù)的應(yīng)用有望將溫濕度監(jiān)測精度提升至新高度。